中国光刻机发展现状解析,自主研制之路的挑战与前景
我国当前拥有自主研发的光刻机,但光刻机领域发展仍面临挑战。国内光刻机在精度、稳定性等方面与国际先进水平存在一定差距。目前,国内企业正在加大研发投入,积极攻克技术难题,提升光刻机性能。光刻机领域的技术壁垒和专利壁垒仍是...
我国当前拥有自主研发的光刻机,但光刻机领域发展仍面临挑战。国内光刻机在精度、稳定性等方面与国际先进水平存在一定差距。目前,国内企业正在加大研发投入,积极攻克技术难题,提升光刻机性能。光刻机领域的技术壁垒和专利壁垒仍是...